플로트폴리싱 - float polishing

기술용어통 반디통 용어집
가공수조 속에 연마액을, 가공물표면이 보이지 않을 정도로 넣고 홈을 만들어 정반과 가공물을 고속회전시키면, 두 개 사이에 넣어진 연마액의 동압유체윤활에 의해, 가공물이 정반과 닿지 않고 떠 있는 상태에서 연마하는 방법.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 폴리싱 폴리싱장치

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