유전위화 - first dislocation generation

기술용어통 반디통 용어집
현재 반도체기판에 사용하는 Si 단결정은 전부 무전위결정이다. 결정성장중에 무엇인가의 원인에 의해 전위가 발생하고 무전위성장이 멈출 수도 있다. 이 현상을 유전위화라 한다. 관용구로 DFNG, DF단절, DF붕괴등으로도 불리운다.
기술용어통 category-bandi 결정성장 웨이퍼제공정 단결정제조

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