패러데이계 (系) - Faraday system

서플렉션 전극, 전류적분기(current integrator)에 연결된 패러데이컵과 타겟으로 구성되어 있으며, 타겟에 입사하는 이온빔의 전류량을 검출하는 계(system). 방출되는 이차전자를 전자서플렉서로 패러데이컵에 되돌려주기 때문에, 전류량측정시 오차가 발생하지 않는다.