불량해석 메모리 - failure analysis memory

기능검사에 의한 불량정보를 테스트사이클마다 저장하는 메모리. 즉, 불량해석메모리의 일부를 디바이스의 불량셀 어드레스를 저장하는 메모리를 AFM(address failure memory)라고 하고, 디바이스에 불량이 발생할 때 패턴발생기가 발생한 각종 패턴을 저장하는 메모리를 DFM(data failure memory)라고 한다.