외부연소 장치 - external torch unit

기술용어통 반디통 용어집
열산화장치를 사용하여 수증기산화를 할 경우에 수소가스와 산소가스를 반응로 밖에서 연소시키는 수증기발생장치. 수증기의 양은 수소가스를 유량제어기(mass flow controller, MFC)로 조정하여 정밀하게 제어한다. 연소부를 발열(pyrogenic)장치라고도 한다.
기술용어통 category-bandi 산화장치 웨이퍼처리공정 산화

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!

해석 정확도를 높이고, 반복 작업을 줄여보세요.

내게 맞는 솔루션 찾기