감압배기시스템 - exhaust system

실린더캐비넷과 장치진공배기펌프 등의 특수재료 가스누설이 예측되는 곳을, 블로워(blower) 등으로 상시 감압하여 배기하는 시스템. 특히 특수고압가스용 실린더캐비넷에 있어서는, 본 시스템의 설치가 의무적이다. 또, 습식처리장치(wet station)등에도 사용되고 있다.