식각종점 검출 - etching end point detection

기술용어통 반디통 용어집
식각의 종점(終點)을 자동적으로 검출하는 것. 검출방법으로서 다음의 방법이 있다. (1)분광분석법 (2)질량분석법 (3)광학반사법(레이저간섭법) (4)인피던스모니터법 (5)압력모니터법 (6)탐침법 (7)적외선흡수법
기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정 식각종점 검출 etching end point detection

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