식각․박리 장치 - etching and stripping system

마스크 블랭크 위에 원화패턴을 노광․묘화․현상시킨 후, 표면의 크롬막 등을 식각한 후 레지스트를 박리하는 장치인데, 건식과 습식이 있다. 건식(乾式)레지스트 박리장치(식각장치)로는 플라즈마식과 광여기(光勵氣)방식이 있다.