식각되는 재료간의 식각속도의 차이. 웨이퍼 안의 균일성에 대하여는 보통, 그림에 표시된 웨이퍼의 중심을 포함한 개의 측정점에서의 식각속도에서, 최대값․최소값 또는 편차를 이용하여 다음 식에 의해 구해진다. 1) 최대값․최소값에 의한 경우 C1223 2) 최대값․최소값․평균값에 의한 경우 C1223-2 3) 편차에 의한 경우 C1223-3 C1223-4 C1223-5 웨이퍼간 균일성에 의하여는, 각 웨이퍼마다 개의 측정점에서 상가평균의 식각속도를 산출하여, 장의 최대값․최소값 또는 편차를 이용하여 윗식 (1), (2), (3)로 구한다.
