식각잔재 - etch residue

식각된 웨이퍼 위에 남은 물질. 생성원인으로써는 플라즈마 중합물 등의 저휘발성의 반응생성물, 스퍼터분해물 또는 식각되는 물질 중에서 저휘발성물질 등이 핵이 되어 생긴다. 이것들의 잔재는, 오염과 부식의 원인이 될 뿐만아니라, 소자의 전기적 특성에 악영향을 주는 것이 있다.