오작동방지밸브제어시스템 - error operation free valve control system

반도체제조시스템에서 발생하는 다양한 전자노이즈에 의해 발생하는, 가스공급시스템에 이용되는 자동밸브 등의 오작동을 방지하는 시스템. 각각의 밸브 등의 부품을 개별적으로 코드화하여, 제어계에서 발신된 코드와 일치하는 경우에만 동작되도록 하는 장치.