에피택셜 성장장치 - epitaxial growth system

웨이퍼의 결정성과 같은 단결정층을 성장시키는 장치. 성장분위기에 의해, 분자선 에피택셜성장장치, 기상 에피택셜성장장치, 액상 에피택셜성장장치, 고상(固相) 에피택셜성장장치로 나뉜다. 재료 측면에서 볼 때, 웨이퍼와 성장층의 재료가 같은 경우(호모에피택셜) 및 웨이퍼와 성장층의 재료가 다른 경우(헤터로에피택셜)로 구분된다.