전자빔 - eletron beam

전자선(캐소드)을 가열하거나, 전계를 인가하여 발생하는 전자를 가속시켜, 한다발로 묶은 것. 전계 또는 자계에 의해 축소, 확대, 편향 또는 주사 등의 제어가 용이하여, LSI 패턴의 묘화 외에, 미세한 패턴의 수치단위 검사와 디바이스의 특성 검사용 EB 테스터 등의 분야에 이용된다. 단면형상과 노광방식에 따라, 스폿빔, 가변성형빔, 일괄노광빔 등으로 나뉜다.