전해이온수 - electroytic ionized water electrolysis ionized water

기술용어통 반디통 용어집
순수(純水) 또는 미량의 전해질을 용해시킨 물을 전해하면, 양극(anode)실에서는 산성에서 강산화성 물, 음극(cathode)실에서는 알칼리성에서 강환원성의 물을 얻을 수 있다. 전해 양극수(陽極水)는 Si 표면오염금속의 제거에, 전해 음극수는 부착미세입자의 제거에 효과가 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 습식세정장치 세정

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