전자쉐이딩 효과 - electron shading effect

기술용어통 반디통 용어집
이온이 수직입사할 때에, 전자는 비스듬히 입사되기 때문에 레지스트 패턴의 측벽을 음(-)으로 차지업시켜, 조밀한 패턴부에서는 전자가 이 음전하와 반발하여 비교적 저속의 전자는 패턴 밑으로 입사되지 않는 현상.
기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정 식각(etching)

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!

해석 정확도를 높이고, 반복 작업을 줄여보세요.

내게 맞는 솔루션 찾기