전자사이클로트론공명 ECR - electron cyclotron resonance

기술용어통 반디통 용어집
하나의 자계 중에서 자계에 수직인 면의 속도성분만을 갖는 전자가 등속원운동(사이클로트론운동)을 하면서, 외부교번자계에 의한 에너지를 흡수하어 속도가 증가하는 현상. 일반적으로 주파수 2.45GHz의 마이크로파와 자장강도 87.5mT의 공명조건을 이용한다.
기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정 식각(etching)

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