ECR 플라즈마 CVD장치 - electron coupling resonance plasma enhanced CVD system
기술용어통 반디통 용어집
마이크로파 도파관을 연결하고, 주위에 자기장 발생기기가 설치된 플라즈마실과, 웨이퍼를 수납하는 반응실로 구성된 CVD장치. 2.45GHz의 마이크로파와 875G(87.5mT)의 자기장에 의해, 고주파플라즈마를 발생시키는 이온원을 이용하여, 반응성가스를 분해하여 저온으로 웨이퍼 위에 박막을 형성한다.
