전해연마 - electro polishing

기술용어통 반디통 용어집
반도체제조용가스의 공급계에 이용되는 스테인레스제 가스부품의 가스접촉면에 실시되는 연마. 전해액 중에서 피연마면에 전위를 걸어주어 가공변질층이 없는 거울면연마가 가능하다. 표면조립도는 Rmax=1㎛이상으로, 미립자의 발생을 억제할 수 있다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정

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