경면가공장치 - edge polisher

웨이퍼의 단면을 연마재(slurry)를 공급하면서, 크로스와 버프 등의 연마부재로 웨이퍼 거울면으로 연마하는 장치. 버프의 모양은 원판, 외통, 내통 등 여러 가지가 있다. 연마재부착래핑필름을 사용하여 연마하는 방법도 있다.