다이나믹 포커스 - dynamic focusing

기술용어통 반디통 용어집
편향기로 전자빔을 편향할 때, 편향량이 증대되면서 초점의 위치가 광축에 수직인 평면에서 이탈하게 된다. 이런 부정합을 보정하기 위해, 편향신호의 크기에 따라 포커스를 보정하는 것.
기술용어통 category-bandi 노광․묘화장치 마스크제조공정 패턴형성장치 dynamic focusing 다이나믹 포커스

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