건조펌프 (드라이펌프) - dry vacuum pump

기술용어통 반디통 용어집
터보 분자펌프와 저온펌프(cryopump)의 초벌 진공펌프로 이용되며, 가스통로에 기름이 혼합되지 않는 오일프리펌프(oil-free pump). 보통 대기압에서 10-3pa까지 압력을 낮출 수 있다.
기술용어통 category-bandi 기본․공통 웨이퍼처리공정 건조펌프 (드라이펌프) 건조펌프 _드라이펌프_ dry vacuum pump

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