건식배기처리장치 - dry type exhaust gas abatement equipment

수분을 보급할 필요가 없는 흡착재를 이용하여, 반도체제조장치 등에서 배출되는 유해가스를 무해화하는 장치. 수분이 필요없기 때문에 건식이라 부른다. 연소식과 분해식을 건식이라고 부르는 것도 있다.

기술용어통 category-bandi 가스 건식배기처리장치 설비․환경공정 dry type exhaust gas abatement equipment 가스공급시스템