건식 현상 - dry developing

레지스트의 패턴을 건식식각을 이용하여 형성하는 방법. 습식현상방식에 비해, 밑면반사 등의 문제를 피할 수 있다. 실릴화 공정의 형태에 레지스트 자체에 식각의 선택성을 갖게하는 방법과 다층 레지스트법 등이 있다.