다운플로우형애싱장치 다운스트림형애싱장치

웨이퍼처리실과 플라즈마 방전실을 분리하고, 챔버 내에 고주파나 마이크로파를 인가하여 플라즈마를 만들고, 하전입자를 제거한 라디칼(radical)만으로 애싱하는 장치.

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