전위밀도 EPD - dislocation density etch pit density

결정중의 전위량. 전위량을 나타내는 것에는 두 가지 방법이 있다. ①단위면적당 나오는 전위선의 개수로 표시하는 방법. 일반적으로는 단위면적당(전위에 의한) 에치피트수로 나타내고, 이것을 EPD라고 부른다. 단위는 개/㎠로 나타낸다. ②단위체적당 전위수의 길이를 모두 합한 것으로, 단위는 ㎝/㎤로 나타낸다. 전위는 시료 중에 불균일하게 분포하므로, 일반적으로 여러 면에서 측정하여 이 평균값를 이용한다.