직접치환식 세정장치 - direct displacem - ent type cleaning equipment
기술용어통 반디통 용어집
여러 세정액으로 웨이퍼를 세정하면서 단일한 수조에 A액, 순수, B액, 순수, 처럼 순차적으로 앞의 약액을 뒤의 약액으로 완전히 치환하는 것처럼 공급하여, 웨이퍼 표면을 공기에 노출시키지 않고 일련의 세정처리를 실시하는 것처럼 하는 장치. 보통의 세정장치와 다른 세정조가 한 개이면 되므로, 면적 작다는 이점이 있다.
