두 개의 음극과 한 개의 양극으로 된 2극음극 글로우방전구조를 갖춘 스퍼터링장치. 음극은 타겟에 해당되며, 양극은 웨이퍼홀더를 겸하고 있다. 글로우방전을 발생시키기 위해, 전극간에 직류전압을 걸어주는 직류2극 스퍼터링과 13.56MHz의 고주파 전압을 걸어주는 고주파2극 스퍼터링장치가 있다. 후자는 절연체도 스퍼터링을 할 수 있다는 것이 특징이다.
기술용어통category-bandi웨이퍼처리공정박막형성장치2극_스퍼터링_장치스퍼터링 장치diode sputtering system
