다이아그램 펌프 벨로즈펌프 - diagram pump bellows pump

레지스터와 용제를 정밀, 또는 재현성이 좋게 배출하기 위하여 사용되는 공기압력(또는 모터)제어펌프. 격막형의 다이아그램 펌프와 주름형의 벨로즈 펌프의 두 종류가 대표적이며, 이차유전체 구동방식의 것도 있다.

기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 도포장치 레지스트 처리 다이아그램 펌프 벨로즈펌프 diagram pump bellows pump