무결함영역 DZ층 - denuded zone

쵸크랄스키법으로 만들어진 Si 웨이퍼를 적당한 열처리(예를 들면 1050℃, 수십시간, N2분위기)를 시행하면, 웨이퍼표면 근방의 산소는 외부로 확산되어 형성되는, 저산소에서 산소석출 등 완전히 결함이 없는 영역. DZ흥이라고도 한다.

기술용어통 category-bandi 열처리용어 웨이퍼제공정 열처리 denuded zone