순수(純水) 냉각 - deionized water cooling

이온주입장치의 고전압터미널 속과 엔드 스테이션 시스템을 순수(純水)로 냉각하는 것. 순수냉각은, 절연성이 양호하기 때문에 이용되고 있는 프론 대신 사용되고 있다. 내전압성과 빔 계측오차를 고려하여 순수의 비저항을 관리할 필요가 있다.