진공자외선조사제전장치 - deep ultraviolet charge neutralizer

중수소램프에서 조사되는 진공자외선을 제전대상근방의 기체분자에 쏘아, N2+이온 등과 전자를 발생시켜, 대전물체표면의 전하를 반대 극성이온으로 중화․제전하는 장치. 제전이 곤란한 진공․감압하에서와 불활성분위기에서 특히 유효하다.