Dash 에칭 - Dash etching

기술용어통 반디통 용어집
실리콘단결정의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것은조성이 HF:HNO3:CH3COOH=1:3:10의 약품으로, 결정결함을 선택적으로 부식시켜, 현미경 등으로 보기 쉽게 하는 방법. P형의 <100>, <111>의 결정에 적용되는 조성을 갖는다.
기술용어통 category-bandi 검사 표면 결함․이물검출 웨이퍼제공정

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