도가니회전속도 C/R - crucible rotation rate

기술용어통 반디통 용어집
단결정을 성장시킬 대 도가니의 이동속도. 도가니를 페데스탈(pedestal)로 도가니에 고정시키고, 이 도가니에 모터 등을 이용하여 기계적으로 회전을 전달해 준다. 단위는 (rpm)로 표시한다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 단결정제조 crucible rotation rate 단결정제조장치-하드웨어기능

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