도가니구동기구 - crucible lift mechanism

기술용어통 반디통 용어집
도가니와 도가니 사이의 용융액 중량을 유지하고, 도가니의 회전과 상하이동기구를 설치한 기구. 노체 하부에 달아서 벨로튜브 등에 의해 결정성장용기와 연결하고 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 단결정제조 단결정제조장치-하드웨어기능 도가니구동기구 crucible lift mechanism

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