교차오염 - cross contaminat

이온주입장치의 구성재료에 의한 오염. 웨이퍼의 지지재료 및 웨이퍼근방의 금속제 부품 등이 이온빔에 의해 스퍼터링되어 웨이퍼 안으로 들어가는 것 또는, 동일 장치 안에 일련의 다른 공정 사이에서, 각각의 공정에 사용되는 가스, 생성물이 다른 공정환경을 오염시키는 것. 클러스터툴(cluster tool)의 보급과 함께 증가되고 있다.