임계선폭 미세치수 - critical dimension CD

일반적으로, 100㎛ 이하 패턴의 선폭과 간극, 패턴 위치 등을 표시하는 치수. 주로 설계상 가장 취약한 부분이나 칩내의 특정부위에 선폭확인용 패턴을 그려넣어, 노광량, 현상조건, 식각조건 등의 프로세스 파라메터 관리와 제품의 치수관리에 이용된다.