COO - cost of ownership

반도체제조에 관련한 설비투자와 운영의 경제성의 평가기준을 경영 레벨로 모델화하는 것. 제조장치의 라이프사이클 코스트를 장치가격, 생산성과 신뢰성, 사용원료에 대한 제조품의 비율 등을 고려하여 웨이퍼 양품(良品)당 가격을 산출하는 방법이다.