촉침식막후계 (觸針式膜厚計) - contact type film thickness meter

기술용어통 반디통 용어집
단차가 있는 시료 표면을 선단 반경 수 미크론에서 수십 미크론의 스타일러스라고 불리우는 침으로 주사(走査)하여 스타일러스의 상하 움직임을 전기신호로 변화시켜 읽어내는 것에 의해 막의 두께 또는 표면형상 등을 측정하는 장치
기술용어통 category-bandi 검사장치 마스크제조공정

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