동축원통형 플라즈마 CVD - coaxial cylindrical plasma enhanced CVD system

원통형의 외부전극 내부에 다면체(多面體)의 웨이퍼지지 전극판이 동축으로 배치된 용량결합 플라즈마CVD장치. 양전극사이에 고주파전압을 걸어주고, 저압반응가스의 플라즈마를 발생시켜 웨이퍼 위에 박막을 형성한다.

기술용어통 category-bandi CVD 장치 웨이퍼처리공정 박막형성장치 coaxial cylindrical plasma enhanced CVD system 동축원통형 플라즈마 CVD