동시 스퍼터링 장치 - co

서로 다른 성분원소를 가진 2개 이상의 타겟을 동시에 스퍼터링하면서, 타겟에 공급되는 전력은 각각 독립적으로 제어하여, 구성성분을 조정하여 막을 형성하는 스퍼터링장치. 두가지 이상의 원소로 이루어진 합금과 화합물의 박막을 형성하는 할 때 이용된다.