밀폐순환식냉각수설비 - closed circuit condensing (cooling) water systerm

냉각탑 또는 열교환기에 의해 냉각된 냉각수를 송수펌프로 반도체제조장치 등의 피냉각대상물로 보내고, 냉각후에도 대기로 개방되지 않는 귀환송수방식의 냉각수설비. 피냉각대상물에 배압(背壓)이 가하여지기 때문에, 내압(耐壓)의 확인이 필요하다.