클린터널 청정터널 - clean tunnel

기술용어통 반디통 용어집
청정실 내의 일부에 설치되어, ULPA 필터 등으로 구성된 천장면을 갖는 터널형의 수직일방향류영역, 청정공기는 터널안을 수직일방향영역으로 할 경우, 전면의 프로세스영역 또는 후면의 서비스영역을 통과시켜 순환시킨다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템

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