청정실 클린룸 - clean room

기술용어통 반디통 용어집
오염이 제어되는 한정된 공간. 공기중에 있는 부유미소입자가 한정된 청정도레벨 이하로 관리되고, 또 그 공간에 공급되는 재료, 약품, 물 등에 있어서도 요구되는 청정도가 유지되고, 필요에 대응하여 온도, 습도, 압력 등의 환경조건에 있어서도 관리가 실시된다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템

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