척세정기구 - chuck cleaning mechanism

약액에 담구어진 반송척을 다음의 척동작 전에, 부착된 약액을 제거하기 위해, 순수세정하고 건조하는 기구. 순수세정의 방법에는 스프레이를 이용하는 것과 간단히 오버플로우 린스조에 침적하는 것이 있다. N2 또는 건조공기를 불어넣어 건조시킨다.