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냉각판 - chill plate
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웨이퍼의 가열처리 후 냉각에 사용되는 냉각된 평탄한 금속판. 냉각판은 냉각수의 순환 등으로 냉각한다. 최근에는, 펠티에 효과를 이용하여 전자냉각을 이용하는 것도 있다.
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