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화학연마 - chemical polishing
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반도체제조용가스의 공급계에 이용되는 스테인레스제부품의 가스접촉면에서 실시되는 연마. 내면을 화학약품의 부식작용으로 마무리하는 것. 미립자의 발생은 지극히 적다.
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