약약용필터 - chemical filter

약액 중의 불순물 입자를 여과하고, 다공질막과 하우징(housing) 등으로 내약품성 재료를 사용한 여과기. 반도체용으로는 붕소 수지가 이용되고 여과하려는 입자의 크기에 따라, 필터구멍의 직경이 조절되는 다공질막이 사용된다.