약품공급배관 - chemical distribution piping

반도체제조용약품을, 공급장치에서 유즈포인트까지 공급하는 배관. 급속불순물의 용출, 미립자발생, 약품에 의한 부식 등을 막기 위해, 용제계약품으로는 스테인레스동배관, 산․알칼리계 약품으로 PFA(테트라플로로에틸렌-퍼플로로알킬비닐에텐 공중합체)튜브가 일반적으로 사용되고 있다.