화학적오염 - chemical contamination

기술용어통 반디통 용어집
청정공기, 웨이퍼표면 등이 화학약품 등의 가스, 미스트, 또는 퓸(fume)에 의해 오염되는 것, 또는 오염된 상태. 생산면뿐만아니라 작업자에 대한 위생면에서의 배력도 필요하고, 청정실안으로 확산되기 이전에 국소적인 대책이 필요하다.
기술용어통 category-bandi 청정실 설비․환경공정 청정실설비

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