약액수납부 - chemical cabinet

레지스트 도포, 현상 등의 장치에 사용되는 약액(레지스트액, 현상액, 린스액)을 공급하기 위해, 이들 약액을 장치 안 또는 근처에 오야서 수납하는 부분. 유기약품으로 수납부를 흡인․배기하는 경우가 대부분이다.